본문 바로가기 주메뉴 바로가기

사업소개

BUSINESS

가스 장비 사업

가스 설비 사업

  • 가스공급장치

    가스용기 안의 고압 가스가 설비 쪽으로 이동을 할 때 저압으로 압력을 조절해주며 안전장치 기능이 있는 설비
  • Purifier

    여러 종류의 가스가 혼합된 혼합 가스 중 원하는 특정 가스만을 고순도로 정제하는 설비
  • Catalytic Scrubber

    기존 Scrubber 대비 저온에서 운전되기 때문에 에너지절감 및 온난화 주요인인 질소산화물(Nox)무방출 등 특장점을 지닌 설비
  • PS SYSTEM

    기판 처리 장치로 가스를 분배하는 밸브 Manifold BOX의 기판 처리장치로서 가스가 이송되는 배관 내 가스를 현장에서 제거하는 이동식 가스 제거 장치